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塚本 哲生*; 北條 喜一; 古野 茂実; 大津 仁; 出井 数彦*
真空, 35(4), p.431 - 437, 1992/00
本装置は、低エネルギーイオン照射装置と100kV電顕とを結合し、材料中でのガス原子の挙動を研究するために製作されたものである。この装置の特徴は高輝度・高安定なイオン銃と電顕内静電偏光プリズムとを開発し、電顕内試料上で約1A/m
という大電流照射を可能としたことである。ここでは、装置の設計と諸特性について示している。
